超精密加工与被加工材料、刀具、机床、控制和检测系统加工环境等因素密切相关，这些因素的综合参数性能决定了超精密加工的精度。

       1、加工机床
       工件的加工精度主要依赖于机床本身的运动精度；而运动精度又依赖于组成机床的主要零部件的材料、加工精度、装配精度等；
       （1）材料因符合产生的弹性变形，因温度变化和振动等环境因素而产生的编移和材料的稳定性；
       （2）组合件的尺寸精度、形状精度及表面粗糙度的误差；
       （3）在约束机构中伴有某种程度的变形和间隙；
       （4）在接触机构中存在因符合及其变动引起的润滑膜厚度的变化，以及摩擦力、磨损等；
       2、超精密加工刀具方面
       刀具造成的零件加工误差主要体现在一下几个方面：
       （1）刀具的热变形；
       （2）刀具在切削加工中的受力变形；
       （3）刀具切削刃的几何精度；
       （4）刀具表面粗糙度以及刀具和工件之间的亲和性；
       （5）刀具磨损；
       3、被加工材料
       超精密加工的零件，其材料的化学成分、物理力学性能、加工工艺性能均有严格要求；超精密机床是超精密加工的基础，其结构、精度和稳定性等均加工质量有直接影响；
       （1）高精度
       拆精密切削机床通常采用宽速直流或交流伺服机电一光栅位置检测闭环系统，采用激光干涉位置，检测系统可以获得极高的定位精度；
       （2）高刚度
       在超精密加工中，由于切削力很小，因此必须充分注意微观刚性；同时解除部门变形的微观重复性和非可逆的动态变形也会影响超精密加工的精度。
       （3）高稳定性
       为了防止热变形对加工精度的影响，超精密切削机床除必须放在恒温室中使用外，有些机床设计了控制温度的密封罩，用液体淋浴或空气淋浴方法消除来自外部及内部的热源影响，如室温变化、运动件的摩擦热和切削热等；
       （4）抗震性好
       在机床结构上应尽量采用短传动链和柔性连接，以减少传动元件和动力元件的影响，电动机等动力元件和机床的回转零件应进行严格的动平衡，以是本身振动最小。
       （5）控制性能好
       超精密切削及床采用微机数字控制，在选择数控系统，不仅要考虑所需完成的功能，还应考虑良好的控制性能。

图：同泰升精密五金件加工产品外观图

       加工材料造成加工精度下降的主要原因：
       （1）工件的受力变形，影响因素有材料自重、切削力、夹紧力以及大气压力等；
       （2）工件的热变形，影响因素有切削热、材料的传导特性以及环境温度；
       （3）材料的时效变形，影响因素有材料的残余应力、固溶体变形等；
       （4）多晶体的晶界段差，及出现晶界阶梯、晶界位错；这是有晶粒变形的方法不同和晶粒本身的弹性系数不同而引起的；
       （5）杂质粒子的段差，即表面出现杂质、金属间化合物、沉淀物或生成不规则的空穴和划伤所造成的的。
       4、超精密测量方面
       在进行超精密测量过程中，影响测量进度的因素主要有：
       （1）接触式测量造成工件表面划伤；
       （2）测量力的变化，即测量仪器中弹簧的变形，不能保证测量力恒定；
       5、超精密加工环境方面
       环境对加工精度的影响主要原因
       （1）精加工车间内的净化：灰尘的混入会使工件表面划伤，而印象其表面质量；
       （2）环境温度：在精密加工中，温度变化成为加工误差的主要来源；环境温度的变化会造成机床设备、刀具及测量装置等热变形，从而产生加工误差和测量误差；
       （3）振动：主要由自然外力引起的振动、交通振动、人走动时的振动及机床设备引起的振动等；在超精密切削加工中，振动对加工精度、表面粗糙度均有较大的影响，切回降低金刚石刀的使用寿命。

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