精密加工是指加工精度为1~0.1μm、表面粗糙度为Ra0.1~0.0025μm的加工技术，称为精密交工；超精密加工指加工精度高于0.1μm、表面粗糙度Ra小于0.025的加工技术，称为超精密加工，因此，超精密加工有称之为亚微米级加工。

精密和超精密加工的设备要求

        1、高精度；包括高的静精度和动精度，主要的性能指标有几何精度、定位精度额重复定位精度、分辨率等；如主轴回转精度、导轨运动精度、分度精度等；
        2、高精度；包括高的精刚度和动刚度，除本身刚度外，还应注意接触刚度，以及由工件、机床、刀具、夹具所组成的工艺系统刚度；
        3、高稳定性；设备在经运输、存储以后，在规定的环境下使用，还能长时间保持精度、抗干扰、稳定工作；设备应有良好的耐磨性、抗振性等。
        4、高自动化；为了保证加工质量，减少人为因素影响，加工设备多采用数控系统实现自动化。

影响精密和超精密加工的因素

        1、加工机理
        在传统加工方法中，金刚石刀具超精密切削、金刚石微粉砂轮超精密磨削、精密高速切削、精密砂带磨削等已占有重要地位；在非传统加工中，出现电子束、离子束、激光束等高能加工、微波加工、超声加工、蚀刻、电火花和电化学加工等多种方法；特别是复合加工。
        2、被加工材料
        用精密和超精密加工的零件，其材料的化学成分、物理力学性能、加工工艺新能均有严格要求。
        3、工作环境
        工作环境是保证加工质量的必要条件，影响环境主要由温度、湿度、污染和振动等因素。
        环境温度可根据加工要求控制在±1℃~±0.02℃，甚至达到±0.0005℃。
        在恒温室内，一般湿度应保持在55%~60%，防止机器的锈蚀、石材膨胀，以及一些仪器，如激光干涉仪的零点漂移等。
        污染主要是指空气中的尘埃，尘埃可能会在加工时划伤加工表面。

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