超精密加工是指精度在0.1~0.01μm，表面粗糙度Ra值在0.03~0.05μm的加工技术；适用于精密元件、计量标准元件、大规模和超大规模集成电路的制造。

超精密加工方法

        1、去除加工
        去除加工又称为分离加工，是从工件上去除一部分材料，传统的机械加工方法，如车削、铣削、磨削、研磨和抛光，以及特种加工中的电火花加工，电解加工等，均属这种加工方法。

        2、结合加工
        结合加工利用物化方法，将不同材料结合在一起；按结合的机理不同，它又分为附着、注入和连接加工三种；
        （1）附着加工称为沉积加工，是在工件表面上覆盖一层物质，是一种弱结合，其中典型的加工方法是镀；
        （2）注入加工又称为渗入加工，是在工件表面上注入某些元素，使之与基体材料产生物理化学反应，是具有共价键、离子键、金属键的强结合，用以改变工件表面材料的力学机械性质。
        （3）连接加工将两种相同或不同材料通话物化方法连接在一起。
        3、变形加工
        变形加工又称为流动加工，利用力、热、分子运动等手段，使工件产生变形，从而改变其尺寸、形状和性能。

超精密加工技术的影响因素

        1、加工机理
        在传统加工中，出现了电子束、离子束、激光束等高能加工、微波加工、超声加工、蚀刻、电火花和电化学加工等多种方法，特别是复合加工，在加工机理上均有创新，尤其以快速成型为代表的“堆积“加工，在加工技术领域具有里程碑意义。
        2、被加工材料
        超精密加工的零件，其材料的化学成分，物理力学性能、加工工艺性能均有严格要求。

        3、加工设备及其基础元部件
        （1）高精度；包括高精度和高动精度，主要的性能指标有几何精度、定位精度和重复定位精度、分辨率等；
        （2）高刚度；包括高静刚度和高动刚度，除本身刚度外，还应注意接触刚度，以及由工件、机床、刀具、夹具所组成的工艺系统刚度。
        4、加工工具
        加工工具主要是指刀具和磨具；金刚石刀具的超精密刃磨，其刃口钝圆半径达到2~4nm，同时应解决其检测方法，刃口钝圆半径与切削厚度关系模切，若切削的厚度与达到10nm，则刃口钝圆半径应为2nm；磨具当前主要采用金刚石微粉砂轮超精密磨削，这种砂轮有磨料粒度、粘结剂、修整等问题；通常采用粒度为W20~W0.5的微粉金刚石，粘结剂采用树脂、铜、纤维铸铁等。

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