超精密加工技术是现代高科技产业和科学技术的发展基础，引领了现代制造科学的重要发展方向；以超精密加工技术为支承的高性能武器在现代战争中起着非常重要的作用。

传统精密加工方法

        1、砂带磨削是用粘有磨料的混纺布为模具对工件进行加工，属于涂附磨具磨削加工的范畴，有生产率高、表面质量好、使用范围广等特点；
        2、精密切削，也称金刚石刀具切削，用高精密的机床和单晶金刚石刀具进行切削加工，主要用于铜、铝等不宜磨削加工的软金属的精密加工；
        3、珩磨，用油石砂条组成的珩磨头，在一定压力下沿工件表面往复运动，加工后的表面粗糙度可达Ra0.4~0.1μm，最好可到Ra0.025μm，主要用来加工铸铁及钢，不宜用来加工硬度小，韧性好的有色金属；
        4、精密研磨与抛光；通过介于工件和工具件的磨料及加工液，工件及研具作相互机械摩擦，使工件达到所要求的尺寸与精度的加工方法；精密研磨与抛光对金属和非金属工件都可达到其他加工方法所不能达到的精度和表面粗糙度，被研磨表面的粗糙度Ra≤0.025μm加工变质很小，表面质量高，精密研磨的社诶简单，主要用于平面、圆柱面、齿轮齿面及有密封要求的配偶件的加工。
        5、抛光；是利用机械、化学、电化学的方法对工件表面进行的一种微细加工，主要用来降低工件表面粗糙度，常用的方法有：手工或机械抛光、超声波抛光、化学抛光、电化学抛光及电化学机械复合加工等。
 

超精密加工对设备的要求

        1、高精度，包括高的静精度和动精度，主要的性能指标有几何精度、定位精度和重复定位精度、分辨率等，如主轴回转精度、导轨运动精度、分度精度等；
        2、高刚度；包括高的静刚度和动刚度，除本身的刚度外，还应注意接触刚度，以及由工件、机床、工具、夹具所组成的工艺系统刚度；
        3、高稳定性；设备在经运输、存储以后，在规定的工件环境下使用，应能长时间保持精度、抗干扰、稳定工作；设备应有良好的耐磨性、抗震性等；
        4、高自动化，为了保证加工质量，减少人为因素影响，加工设备多采用数控系统实现自动化。

图：CNC精密五金件加工产品实拍图

超精密加工磨机的原理

        1、超微量切除；精密和超精密磨削是一种极薄切削，切削厚度极小，磨削深度可能小于晶粒的大小，磨削就在晶粒内进行，因此磨削力一定要超过晶体内部非常大的原子、分子结合力，从而磨粒上所承受的切应力就急速地增加变的非常大，可能接近被磨削材料的剪切强度的极限；
        2、单颗粒磨削加工过程；砂轮上的磨粒是随机分布的，对于不同的磨削颗粒有不同的受力情况；磨粒是一颗具有弹性支承和大负前角切削刃的弹性体。

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