超精密加工是指精度在0.1~0.1μm，表面粗糙度Ra值在0.03~0.05μm的加工技术，如金刚石刀具超精密切削、超精密磨料加工、超精密特种加工和复合加工等。它使用于精密元件、计量标准元件、大规模和超大规模集成电路的制造，而且，超精密加工的精度整处在亚纳米级工艺。

超精密加工方法

1、去除加工
去除加工又称为分离加工，是从工件上去除一部分材料，传统的机械加工方法，如车削、铣削、磨削、研磨和抛光，以及特种加工中的电火花加工、电解加工等，均属这种加工方法。
2、结合加工
结合加工利用物化方法，将不同材料结合在一起；按结合的机理不同，它又分为附着、注入和连接加工三种：
（1）附着加工又称为沉积加工，是在工件表面上覆盖一层物质，是一种弱结合，其中典型的加工方法是镀；
（2）注入加工又称为渗入加工，是在工件表面注入某些元素，使之与基体材料产生物理化学反应，是具有共价键、离子键、金属键的强结合，用以改变工件表面层材料的力学机械性质，如渗碳、渗氮等；
（3）连接加工将两种相同或不同材料通过物化方法连接在一起。
3、变形加工
变形加工又称为流动加工，利用离、热、分子运动等手段，使工件产生变形，从而改变其尺寸、形状和性能。

车削加工的特点

1、车削适应范围广，它是加工不同材质、不同精度的各种具有回转表面零件不可缺少的工序；
2、容易保证零件各加工表面的位置精度，例如：在一次安装过程中加工零件个回转面时，可保证各加工表面的同轴度、平行度、垂直度等位置精度的要求。
3、生产成本低，车刀是刀具中最简单的一种，制造、刃磨和安装方便；车床附件较多，生产准备时间短；
4、生产率较高车削加工一般是等截面连续切削，因此，切削力变化小，较刨、铣等切削过程平稳，可选较大的切削用量，生产率较高。
5、车削的尺寸精度一般可达IT8~IT7，表面粗糙度Ra值为3.2μm~0.8μm，尤其是对不宜磨削的有色金属进行精车加工可获得更高的尺寸精度和更小的表面粗糙度Ra值。

影响超级精密加工的因素

1、加工机理
在传统加工方法中，金刚石刀具超精密切削，金刚石微粉砂轮超精密磨削、精密高速切削、精密砂带磨削等已占有重要地位；在非传统加工中，出现了电子束、离子束、激光束等高能加工、微波加工、超声加工、蚀刻、电火花和化学加工等多种方法，特别是复合加工，在加工机理上均有所创新，尤其以快速成型为代表的“堆积”加工，在加工技术领域具有里程碑意义。
2、被加工材料
超精密加工的零件，其材料的化学成分、物理力学性能、加工工艺性能具有严格要求；如：被加工材料质地均匀，性能稳定、无外部及内部微观缺陷，不能含有杂质；其物理力学性能。
3、加工设备及其基础元部件
（1）高精度：包括高静精度和高动精度，主要的性能指标有几何精度、定位精度和重复定位精度、分辨率等；
（2）高刚度；包括高静刚度和高动刚度，除本身刚度外，海英注意接触刚度，以及由工件、机床、刀具、夹具所组成的工艺系统刚度；
4、加工工具
加工工具主要是指刀具和磨具；用金刚石刀具超精密切削，值得研究的问题有：金刚石刀具的超精密刃磨，其刃口钝圆半径应达到2~4nm，同事应解决其检测方法，刃口钝圆半径与切削厚度关系密切，若切削的厚度欲达到10nm，则刃口钝圆半径应为2nm。磨具当前主要采用金刚石微粉砂轮超精密磨削，这种砂轮有磨料粒度、粘接剂、修整等问题，通常采用粒度为W20~W0.5的微粉金刚石，粘接剂采用树脂、铜、纤维铸铁等。

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